ICP光譜儀主要有兩種校正方法：分析校正和波長(zhǎng)校正。
   (1)分析校正
    分析校正是為了讓所測(cè)元素濃度與儀器所檢測(cè)到的光強(qiáng)度建立起，就是我們常說的做標(biāo)準(zhǔn)曲線，輸^事先配好的標(biāo)樣值，再讓ICP光譜儀對(duì)其進(jìn)行檢測(cè)，讓檢測(cè)值與濃度之間建立起關(guān)系曲線，未知樣品濃度按照該曲線及所；剛得濃度值得出。在ICP—OES的分馓正中，檢測(cè)值與濃度之間—般是線性關(guān)系。在實(shí)際工作中，存在其他元素峰對(duì)所測(cè)元素峰有干擾的情況時(shí)，可以通過調(diào)節(jié)計(jì)算方法及火焰觀測(cè)方式來減小誤差，提高線性相關(guān)系數(shù)。這里需要說明線性相關(guān)系數(shù)是度的必要不充分條件。

（2）波長(zhǎng)校正
   波長(zhǎng)校正是為使實(shí)際波長(zhǎng)同檢測(cè)器檢出波長(zhǎng)相一致。大致可分為兩分部：首先通調(diào)整儀器來對(duì)光譜儀進(jìn)行校正，然后是通過漂移補(bǔ)償?shù)霓k法減少因環(huán)境的變換導(dǎo)致譜線產(chǎn)生位移。光譜校正是儀器實(shí)際測(cè)得的波長(zhǎng)與理論波長(zhǎng)之間出現(xiàn)的偏差別進(jìn)行的校正，一般是通過測(cè)試一系列元素的波長(zhǎng)來進(jìn)行校正，校正后所得數(shù)據(jù)即為對(duì)光譜彼進(jìn)行校正的校正數(shù)據(jù)。漂移補(bǔ)嘗是因?yàn)楣馄諆x光譜線位移與波長(zhǎng)、溫度、濕度、壓力變化之間有非線性函數(shù)關(guān)系，這種函數(shù)關(guān)系具有普遍適用性。其中零級(jí)光譜線隨波長(zhǎng)、溫度變化產(chǎn)生的位移zui大。漂移補(bǔ)償是一種常規(guī)監(jiān)視過程，其原理是在進(jìn)樣間歇期間，監(jiān)測(cè)多條氫線波長(zhǎng)，將實(shí)際值與理論值相比較，并對(duì)誤差進(jìn)行補(bǔ)償